Das BlitzLab verfügt über die folgenden Anlagen, die für Anwender zur Verfügung stehen.
RTP 1200
(Standort: ZeHS, TU Bergakademie Freiberg)
- Hersteller: Von Ardenne GmbH
- Substratgrößen: bis 1200 x 1200 mm
- Transportgeschwindigkeit: bis 1 m/min
- Tempergase: Atmosphäre
- Blitzmodus:
-
- Lampenfeld 300 x 1700 mm
- Einzelpuls
-
- Pulszeiten: ca. 0.6 ms
- Energiedichten: bis zu 13 Jcm-2
FLA01
- Hersteller:
- Eigenentwicklung (Blitzkammer)
- Rovak GmbH (Energiespeicher)
- Substratgrößen: Durchmesser bis zu 100 mm
- Tempergase: Stickstoff, Argon, Sauerstoff
- Blitzmodus:
- Lampenfeld
- Einzelpuls
- Pulszeiten: 0.65 – 20 ms
- Vorheizung: bis zu 600°C
- Energiedichte: bis zu 170 Jcm-2
Sputter FLA
- Hersteller: Rovak GmbH
- Substratgrößen: bis zu 300 x 200 mm2
- Tempergase: Vakuum, Stickstoff, Argon, Sauerstof
- Blitzmodus:
- Einzellampe
- Einzelpuls
- Multi-Flash bis 5 Hz
- Pulszeiten: 0.3 – 3 ms
- Energiedichte: bis zu 30 Jcm-2
Flasch Cube
- Hersteller:
- Eigenentwicklung (Blitzkammer)
- Rovak GmbH (Energiespeicher)
- Substratgrößen: Durchmesser bis zu 150 mm
- Tempergase: Stickstoff, Argon, Sauerstoff
- Blitzmodus:
- Lampenfeld
- Einzelpuls
- Pulszeiten: 0.65 – 20 ms
- Energiedichte: bis zu 160 Jcm-2
Laserausheilung: COMPexPRO 201
- Hersteller: Coherent
- Wellenlänge: 308 nm, gepulst (10 Hz)
- max. Energie pro Puls: 500 mJ
- Pulsdauer: 30 ns
R2R Bandbeschichtung
(TU Bergakademie Freiberg)
- Hersteller: ROVAK GmbH
- Module:
- 1x Plasmareinigung
- 2x Sputtern
- 1x EB‑PVD
- 3x FLA
- 1x IR-Tempern
- Rollen: Folien bis 180 mm Breite und 10 – 100 µm Schichtdicke
- Gas: Argon, Stickstoff, Sauerstoff
- Blitzmodus:
- Einzellampen
- Einzelpuls
- Multi‑Flash bis 10 Hz
- Pulszeiten: 0,3 bis 10 ms
- Energiedichte: bis > 40 J/cm²
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