Das BlitzLab verfügt über die folgenden Anlagen, die für Anwender zur Verfügung stehen.

RTP 1200

(Standort: ZeHS, TU Bergakademie Freiberg)

  • Hersteller:  Von Ardenne GmbH
  • Substratgrößen: bis 1200 mm x 1200 mm
  • Transportgeschwindigkeit: bis 1 m/min
  • Tempergase: Atmosphäre
  • Blitzmodus:
    • Lampenfeld 300 x 1700 mm
    • Einzelpuls
  • Pulszeiten: ca. 0.6 ms
  • Energiedichten: bis zu 13 Jcm-2
RTP 1200, von Ardenne, Blitzanlage
©HZDR

FLA01

  • Hersteller:
    • Eigenentwicklung (Blitzkammer)
    • Rovak GmbH (Energiespeicher)
  • Substratgrößen: Durchmesser bis zu 100 mm
  • Tempergase: Stickstoff, Argon, Sauerstoff
  • Blitzmodus:
    • Lampenfeld
    • Einzelpuls
  • Pulszeiten: 0.65 – 20 ms
  • Vorheizung: bis zu 600°C
  • Energiedichte: bis zu 170 Jcm-2
©HZDR

Sputter FLA

  • Hersteller: Rovak GmbH
  • Substratgrößen: bis zu 300 x 200 mm2
  • Tempergase: Vakuum, Stickstoff, Argon, Sauerstof
  • Blitzmodus:
    • Einzellampe
    • Einzelpuls
    • Multi-Flash bis 5 Hz
  • Pulszeiten: 0.3 – 3 ms
  • Energiedichte: bis zu 30 Jcm-2
Picture of Sputter FLA
©HZDR

Flash Cube

  • Hersteller:
    • Eigenentwicklung (Blitzkammer)
    • Rovak GmbH (Energiespeicher)
  • Substratgrößen: Durchmesser bis zu 150 mm
  • Tempergase: Stickstoff, Argon, Sauerstoff
  • Blitzmodus:
    • Lampenfeld
    • Einzelpuls
  • Pulszeiten: 0.65 – 20 ms
  • Energiedichte: bis zu 160 Jcm-2

Laserausheilung: COMPexPRO 201

  • Hersteller: Coherent
  • Wellenlänge: 308 nm, gepulst (10 Hz)
  • max. Energie pro Puls: 500 mJ
  • Pulsdauer: 30 ns
Picture of COMPexPRO 201
©HZDR

R2R Bandbeschichtung

(TU Bergakademie Freiberg)

  • Hersteller: ROVAK GmbH
  • Module:
    • 1x Plasmareinigung
    • 2x Sputtern
    • 1x EB‑PVD
    • 3x FLA
    • 1x IR-Tempern
  • Rollen: Folien bis 180 mm Breite und 10 – 100 µm Schichtdicke
  • Gas: Argon, Stickstoff, Sauerstoff
  • Blitzmodus:
    • Einzellampen
    • Einzelpuls
    • Multi‑Flash bis 10 Hz
  • Pulszeiten: 0,3 bis 10 ms
  • Energiedichte: bis > 40 J/cm²

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FUJIFILM Dimatix Materials Inkjetdrucker – DMP-2850

  • variabel verfahrbarer xyz-Tisch

  • Bedruckbare Fläche ~ A4 – Format bei variablen Substratdicken im Bereich < 0,5 – 25 mm Dicke

  • Wiederholgenauigkeit: ± 25 μm

  • minimale Tropfengröße ~ 30 µm (natives Tropfenvolumen 2.4 pL)

  • Abscheidemöglichkeit unterschiedlichster Fluide/Tinten: z.B. Metall-Edelmetalltinten, Halbleiter-Keramikhaltige Tinten, Biopolymere etc.

  • Möglichkeit zur Druckkopf-Substratheizung bis zu 60°C

  • Kostengünstige, Tintenstrahldruckerpatronen auf Piezo-Basis, Tintenkapazität: 1,5 ml

Tischdrucker, Tabletop-printer