Anlagen | Blitzlab

Das BlitzLab verfügt über die folgenden Anlagen, die für Anwender zur Verfügung stehen.

FLA01

Hersteller:
- Eigenentwicklung (Blitzkammer)
- Rovak GmbH (Energiespeicher)
Substratgrößen: Durchmesser bis zu 100 mm
Tempergase: Stickstoff, Argon, Sauerstoff
Blitzmodus:
- Lampenfeld
- Einzelpuls
Pulszeiten: 0.65 – 20 ms
Vorheizung: bis zu 600^°C
Energiedichte: bis zu 170 Jcm^-2

Sputter FLA

Hersteller: Rovak GmbH
Substratgrößen: bis zu 300 x 200 mm²
Tempergase: Vakuum, Stickstoff, Argon, Sauerstof
Blitzmodus:
- Einzellampe
- Einzelpuls
- Multi-Flash bis 5 Hz
Pulszeiten: 0.3 – 3 ms
Energiedichte: bis zu 30 Jcm^-2

Darkbox

Hersteller:
- Eigenentwicklung (Blitzkammer)
- Rovak GmbH (Energiespeicher)
Substratgrößen: Durchmesser bis zu 150 mm
Tempergase: Stickstoff, Argon, Sauerstoff
Blitzmodus:
- Lampenfeld
- Einzelpuls
Pulszeiten: 0.65 – 20 ms
Energiedichte: bis zu 160 Jcm-2

Laserausheilung: COMPexPRO 201

Hersteller: Coherent
Wellenlänge: 308 nm, gepulst (10 Hz)
max. Energie pro Puls: 500 mJ
Pulsdauer: 30 ns

R2R Bandbeschichtung

(TU Bergakademie Freiberg)

Hersteller: ROVAK GmbH
Module:
- 1x Plasmareinigung
- 2x Sputtern
- 1x EB‑PVD
- 3x FLA
- 1x IR-Tempern
Rollen: Folien bis 180 mm Breite und 10 – 100 µm Schichtdicke
Gas: Argon, Stickstoff, Sauerstoff
Blitzmodus:
- Einzellampen
- Einzelpuls
- Multi‑Flash bis 10 Hz
Pulszeiten: 0,3 bis 10 ms
Energiedichte: bis > 40 J/cm²

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