Anlagen

Mithilfe der R2R-Anlage können verschiedene Folienrollen aus Kunststoff oder Metall beschichtet und anschließend direkt per Blitzlampenbehandlung (FLA) getempert werden. Die Anlage ist zum Beschichten von Bändern mit einer Breite von 180 mm bei einer Bandgeschwindigkeit von 0,01 m/min bis zu 3 m/min ausgelegt. Sie verfügt über mehrere Module zur flexiblen Gestaltung des Beschichtungs- und Temperprozesses.
Im ersten Schritt wird eine Oberflächenreinigung der Folie mit einem Argonplasma durchgeführt. Auf diese Weise wird die Bedeckungsschicht abgetragen und Verunreinigungen wie Oxide und Wasser entfernt. Zur Beschichtung der Folie sind zwei Sputter-Module und ein Modul zum Elektronenstrahlverdampfen in die Anlage integriert. Die zwei DC-Sputterkammern dienen zur Abscheidung von Schichten aus leitfähigen Targetmaterialien. Mit dem Elektronenstrahlverdampfer lassen sich Materialien wie Silizium oder hochschmelzende Metalle verdampfen und auf der Folie abscheiden. Der Prozess besitzt eine hohe Beschichtungsrate. Auf jede Beschichtungseinheit folgt ein FLA-Modul, mit dem die Beschichtung getempert werden kann. Zusätzlich verfügt die Anlage über ein Heizmodul zum konventionellen Tempern bis 600 °C mit einer Heizrate von maximal 300 K/min.
In näherer Zukunft soll die Anlage um ein Energiemanagement erweitert werden. Auf diese Weise kann der Verbrauch der stromintensiven Prozesse analysiert und optimiert werden.