Blitzlampentemperung: Schlüsseltechnologie in Forschung und Industrie

Flash Lamp Annealing (FLA) wird bereits in der Halbleiterindustrie und für flexible Elektronik eingesetzt, darüber hinaus entstehen stetig neue Anwendungsmöglichkeiten. Nanometergroße Strukturen finden neben der Nanoelektronik Einzug in immer neue Technologiefelder, wie Smart-Textiles, Akkus und Brennstoffzellen und bilden die Grundlage für zahlreiche Innovationen. Dabei erfordert der Übergang von Bulk- zu Nanomaterialien Anpassungen in der Prozesstechnologie, einschließlich des Wechsels von Gleichgewichts- zu Nichtgleichgewichtsprozessen sowie der exakten Einstellung der Zieltemperaturen. Neben technologischen Aspekten überzeugt FLA durch die hervorragende Energie- und Zeiteffizienz, mit einer Reduzierung des Energiebedarfs um bis zu 90% gegenüber Standardverfahren. Die Funktionalisierung auf der Millisekunden-Zeitskala sowie unsere Strategien zur Integration in bestehende Prozessketten werden diskutiert.